Light extraction enhancement of SOI-based erbium/oxygen Co-implanted photonic crystal microcavities
光子晶体微腔对铒-氧共注入SOI的发光增强

本文采用绝缘层上硅（SOI）材料制备了H5型光子晶体微腔，并注入铒和氧离子。室温下的光荧光测试结果表明，对比同等离子注入条件下没有图形结构的SOI区域，在波长为1.54μm处H5型光子晶体微腔的光泵浦发光强度增强了12倍以上。另外，我们也观察到了在晶格周期a不变的情况下，光子晶体微腔的谐振波长随空气孔半径的增大而向短波长方向移动的现象，这与理论模拟结果相一致。