Selective Area Growth InGaAsP by MOVPE
利用MOVPE选区外延生长InGaAsP(英文)
Keywords: 选区外延,MOVPE,InGaAsP,表面尖角,/比
Abstract:
研究了利用低压 MOVPE宽条 (15μm )选区外延生长 In Ga As P的性质 .研究了生长速率、厚度增强因子、带隙调制、组分调制随着生长条件如掩模宽度、生长压力、 族源流量的变化规律 ,给出了合理的解释 .同时研究了不同 / 比下选择性生长 In Ga As P表面尖角的性质.
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