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OALib Journal期刊
ISSN: 2333-9721
费用：99美元
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Design of Micro Electro Mechanical System RF Switch
悬臂式RF MEMS开关的设计与研制
Guo Fangmin, Lai Zongshen, Zhu Ziqiang, Jia Ming, Chu Jianpeng, Fan Zhong, Zhu Rongjin, Ge Xiaohong, Yang Genqing, Lu Wei,
郭方敏, 赖宗声, 朱自强, 贾铭, 初建朋, 范忠, 朱荣锦, 戈肖鸿, 杨根庆, 陆卫
Keywords: cantilevered arm,low loss,isolation,finite cell analysis,threshold voltage
悬臂梁,插入损耗,隔离度,ANSYS软件,阈值电压
Abstract:
介绍了一种制作在低阻硅(3～8Ω·cm)上的悬臂式RF MEMS开关.在Cr/ Au CPW共面波导上,金/Si Ox Ny/金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂,静电受激作为开关机理.当开关处于“关断”态,其隔离度小于- 35 d B(2 0～4 0 GHz) ;阈值电压为13V ;开关处于“开通”态,插入损耗为4～7d B(1～10 GHz) ,反射损耗为- 15 d B.另外,还分析了开关的悬臂梁弯曲度与驱动电压的关系,并应用ANSYS软件对开关进行了电学、力学及耦合特性的计算机模拟 Full-Text
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