SiGe HBTs高频特性模拟分析
Keywords: 锗化硅,HBTs,外延生长,高频特性,模拟分析
Abstract:
本文详细分析了下述问题:(1)在基区厚度减薄到几十纳米后,发射区时间常数、集电区时间常数对SiGeHBTs的高频特性的影响;(2)低掺杂浓度发射区层对发射区渡越时间的影响;(3)在发射结耗尽层中,除了固定电荷因素引起的电容外,发射结正常工作加正向偏压时,由于自由载流子注入引起的EB结电容.由以上物理分析可以得出器件的有关参数,并由器件的等效电路,对器件的高频特性进行分析和模拟,对影响器件高频特性的参数进行优化.
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