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ISSN: 2333-9721
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Ar~+激光辐照对GaAs(100)表面硫钝化的影响

Keywords: 砷化镓,硫化物,钝化,氩离子激光

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本文用C-V法、金相腐蚀法、X光电子谱(XPS)、俄歇电子谱(AES)研究GaAs表面硫钝化膜和激光辐照硫化的效果.

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