Resistivity Instability in Polysilicon Resistors Under Metal Interco-nnects and Its Suppression by Compensating Ion Implantation
集成电路中金属连线下多晶硅电阻的不稳定性分析及抑制方法(英文)

作为集成电路的电阻单元 ,掺硼的多晶硅电阻在千欧级的范围内存在阻值不稳定性 ,尤其在金属连线下更为严重 .分析了不同工艺条件下制作的多晶硅电阻电特性和晶格特性 .结果表明 ,阻值的不稳定性主要由载流子迁移率改变引起 .通过测试和运用 Seto’ s模型计算进一步发现 ,在铝连线底下势垒高度和俘获的电荷密度均有降低 .电荷的俘获 /反俘获在多晶硅晶粒边界发生引起势垒高度的变化 ,从而导致阻值不稳定 .然后 ,借助于补偿的离子注入制作了高稳定的、阻值在千欧级的多晶硅电阻 .该方法使得多晶硅晶粒边界电荷的俘获 /反俘获对氢退火不敏感 .