电子束蒸镀Y_2O_3-ZrO_2减反射膜用于1.3μm半导体激光器

用ＤＭＰ４５０型电子束镀膜机，制备了Ｙ２Ｏ３ＺｒＯ２膜，并将它用作１．３μｍ半导体激光器的减反射膜．测试结果表明，镀膜后的半导体激光器其外微分子量效率明显提高，线性化也有改善．对于减反程度很高的管子，出现了超辐射现象．本文对这些现象及有关机理进行了讨论．