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ISSN: 2333-9721
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半导体学报 1987

a-Si:H/a-SiN_x:H超晶格薄膜的制备及其性质

王志超,刘湘娜,何宇亮,吴汝麟

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Abstract:

本文报道了a-Si:H/a-SiN_x:H超晶格薄膜的制备方法、结构以及在光学方面的量子尺寸效应.

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