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ISSN: 2333-9721
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物理学报  2013 

Growth mechanism and optoelectronic properties of vanadium oxide films prepared by Sol-Gel
溶胶凝胶制备氧化钒薄膜的生长机理及光电特性

Keywords: vanadium oxide films,Sol-Gel,optoelectonic properties,growth mechanism
氧化钒薄膜
,溶胶凝胶,光电特性,生长机理

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Abstract:

采用溶胶凝胶法, 在不同的退火温度下制备了不同的氧化钒薄膜. 利用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、高阻仪、紫外-可见分光光度计和傅里叶红外光谱仪等, 对薄膜的形貌、晶态、电学和光学特性进行了分析. 结果表明, 溶胶凝胶法获取V2O5薄膜的最佳退火温度为430 ℃, 低于此温度不利于使有机溶剂充分分解, 高于此温度则V–O键发生裂解、形成更多的低价态氧化钒. 本文制备的氧化钒薄膜具有较高的电阻温度系数和光吸收率, 适合应用在非制冷红外探测器中. 本文揭示了溶胶凝胶法制备氧化钒薄膜的生长机理.

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