Research on the surface scattering properties of optical films by the total integrated scatter
利用总积分散射仪对光学薄膜表面散射特性的研究

利用总积分散射仪对不同条件下制备的金属银膜、Y2O3稳定ZrO2（YSZ）薄膜、TiO2薄膜和1064 nm与532 nm双波长增透膜的表面均方根（RMS）粗糙度和散射特性的变化规律进行了系统研究，并与样品的制备条件、生长过程、材料组成及光学特性等各方面相结合，对测量结果做出了合理解释，从而使总积分散射测量在其他领域的研究得以扩展和应用.