高频离子源的一些特性

本文对高频离子源中气压、磁场强变、吸极电压、高频功率等主要参数对于引出离子流的影响作了一些研究。在吸极口径为1.8毫米、极隧长度为9.5毫米、磁场强度为150奥斯特等条件下,获得最大离子流为1.35毫安。