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半导体学报 2009
Temperature dependence of charge sharing and MBU sensitivity induced by a heavy ion
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Abstract:
在200K~420K范围内,对130nm CMOS工艺下的电荷共享的温度特性进行了研究。器件模拟的结果表明,随着温度的上升,电荷共享收集量有66%~325%的增加。通过器件模拟得到了两个SRAM单元的MBU的LETth以及DICE单元的LETth。除了电荷共享,电路响应的温度特性也对LETth有显著的影响。