%0 Journal Article %T 共聚焦激光扫描显微系统光学设计 %A 吴永前 %A 肖海东 %J - %D 2018 %R 10.3969/j.issn.1005-5630.2018.06.011 %X 为了实现非接触式、快速高精度的光学检测,设计了一种共聚焦激光扫描显微光学系统。在保证设计指标的前提下,简化了各光组的结构,采用7片球面透镜并以K9玻璃作为透镜材料。使用Zemax软件对光学系统进行了设计和仿真。结果表明:物镜的数值孔径为0.49;系统的径向和轴向光学分辨率分别为0.400 μm和0.772 μm;显微聚焦系统聚焦弥散斑直径小于2 μm;照明系统聚焦弥散斑直径小于10 μm;探测系统的聚焦光斑直径小于20 μm;根据仿真结果确定了针孔1和针孔2的尺寸均为20 μm,且厚度不超过0.1 mm;各子系统的MTF曲线均接近衍射极限,具有很高的光学传输效率 %K 光学设计 Zemax 激光共聚焦 显微物镜 照明系统 探测系统 %U http://joi.usst.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20180611&flag=1