%0 Journal Article
%T 激光自动对焦中离焦量的探测与计算方法
%A 穆文娟
%J -
%D 2019
%R 10.3969/j.issn.1005-5630.2019.01.003
%X 根据激光光线聚焦状态不同对应被测面上激光光斑形状不同的特点，通过引入辅助激光束，分析了调焦CCD采集的激光光斑图像信息，进而根据光斑形状及半径等信息确定被测面对焦状态。针对实验中每隔相同离焦距离采集的一系列光斑图像，提出了相应的图像处理方案，以提取所需光斑半径信息，进而进行光斑半径与离焦量转换。实验结果表明，光斑半径与离焦量呈线性关系，最大线性范围灵敏度为2.342像素/μm，最高可实现0.43 μm分辨率
%K 激光自动对焦 光斑图像处理 离焦量检测
%U http://joi.usst.edu.cn/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20190103&flag=1