%0 Journal Article
%T 基于LabVIEW面向对象的TOF-SIMS仪器控制软件
%J -
%D 2017
%X 摘要 飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）作为一种重要的表面分析工具被广泛应用，本研究为其开发了一套仪器控制软件。基于LabVIEW面向对象方法建立了仪器部件控制类库，结合消息驱动机制完成了软件结构设计。所开发的软件能够实现对离子光学系统、真空系统和三维样品台等仪器子系统的部件控制。应用该软件控制仪器进行了锆石样品的TOF-SIMS实验，完成了锆石样品谱图的获取，结果表明，该软件能够满足仪器对控制软件的要求。此外，软件结构具有良好的可重用性和可扩展性，以及硬件更改对软件影响小等优点，该软件设计方法可用于类似仪器控制软件的开发
%K 飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）
%K 控制软件
%K LabVIEW
%K 面向对象
%U http://www.jcmss.com.cn/CN/abstract/abstract2638.shtml