%0 Journal Article
%T 扫描电子显微镜图像漂移的实时矫正方法
%A 储成智
%A 张强
%A 徐伟
%A 汝长海
%A 袁雅薇
%A 谷森
%A 赵江海
%A 靳振伟
%J -
%D 2018
%R 10.12086/oee.2018.180198
%X 为解决扫描电子显微镜(SEM)由于电子束漂移、电磁干扰等原因导致的图像漂移问题，提出基于ORB结合PROSAC的图像漂移矫正算法。首先采用ORB算法对基准图像和实时图像进行特征检测，然后利用汉明距离与交叉匹配实现特征的初匹配，再结合RANSAC的优化算法PROSAC计算帧间的单应矩阵，利用单应矩阵映射剔除外点后重新迭代计算出最终的精确单应矩阵，最后利用单应矩阵的透视变换实现SEM图像漂移实时矫正。通过实验证明，该算法不仅精度高，而且能够满足SEM实时处理的要求。
%K 扫描电子显微镜 图像漂移 单应矩阵 矫正
%U http://www.oejournal.org/J/OEE/Article/Details/A181130000013/CN