%0 Journal Article
%T 大口径光学元件瞬态波前检测
%A 凡木文
%A 刘博
%A 卓儒盛
%A 周睿
%A 孙沁园
%A 孟诗
%A 张景旭
%A 张瑞
%A 朱文华
%A 汪相如
%A 王富国
%A 贺晓娴
%A 陈磊
%A 黄林海
%J -
%D 2018
%R 10.12086/oee.2018.170536
%X 为瞬态测量大口径光学元件波前，提出一种基于斜入射结构的近红外反射式错位点衍射干涉原理的Φ400 mm瞬态波前检测方法。该方案将待测光分成两束互相错位的参考光与测试光，从而在干涉图中引入高线性载频，采集到对比度良好的干涉图后，利用傅里叶变换相位解调法从单幅干涉图中提取待测波前相位，实现瞬态波前动态测量。实验光路总长近20 m，极易受气流的影响，且由于气流干扰随时间变化，该系统本身可以看作是大口径光学元件瞬态波前发生与检测装置。测试结果与SID4波前传感器比较，波前均方根（RMS）小于1/50 λ，可知所提方法可以实现大口径瞬态波前的高分辨率与高精度检测。
%K 光学测量 点衍射干涉仪 大口径 瞬态波前
%U http://www.oejournal.org/J/OEE/Article/Details/A180213000009/CN