%0 Journal Article
%T 化学气相沉积法制备氮化钛
%J -
%D 2003
%K 化学气相沉积
%K 源物质
%K 氮化钛
%K 制备
%U http://manu56.magtech.com.cn/progchem/CN/Y2003/V15/I05/374