%0 Journal Article
%T 基于神经网络的集成电路生产过程建模与优化
%A 王向东
%A 王守觉
%A 石林初
%A 陈咏梅
%J -
%D 2001
%K 神经网络
%K 芯片制造
%K 工序能力指数
%K 提高成品率
%U http://www.aas.net.cn:80/article/id/16481