%0 Journal Article
%T 基于混合集成建模的硅单晶直径自适应非线性预测控制
%A 万银
%A 任俊超
%A 刘丁
%J -
%D 2020
%R 10.16383/j.aas.c190798
%K 直拉硅单晶生长
%K 直径控制
%K 混合集成建模
%K 模型辨识
%K 自适应非线性预测控制
%U http://www.aas.net.cn:80/cn/article/doi/10.16383/j.aas.c190798