%0 Journal Article
%T MEMS系统中微平板结构声振耦合性能研究
%A 任树伟
%A 卢天健
%A 唐宇帆
%A 辛锋先
%J 力学学报
%D 2016
%R 10.6052/0459-1879-15-354
%X 摘要
%K <p>MEMS|微平板|气膜力|传声损失</p>
%U http://lxxb.cstam.org.cn/CN/10.6052/0459-1879-15-354