%0 Journal Article
%T 蠕动爬行微电机械力－电耦合的致动特性分析
%J 计算力学学报
%D 2003
%R 10.7511/jslx20035099
%X 对于以施加电场作为驱动的蠕动爬行微电机构，在柔韧薄板理论和电学物理基础上，通过考虑驱动元件在电场力作用下的几何非线性变形和与结构变形相关的电荷分布及电场力分布，建立了其驱动元件的非线性耦合模型。在此基础上，采用矩量法和增量有限元法相结合，给出了其微电机构在失稳前由弯曲变形引起的蠕动距离随外加电压之间的特征关系
%K 蠕动爬行微电机械 力-电耦合 致动特性 微电子加工 变形特征
%U http://www.cjcm.net/jslxxb/ch/reader/view_abstract.aspx?file_no=20030599&flag=1