%0 Journal Article
%T 基于LaNiO3和Pt电极的Pb(Zr0.52Ti0.48)O3薄膜制备和电学性能研究
%A 李志永
%A 李进
%A 赵全亮
%A 邹雪
%J 功能材料
%D 2014
%X 采用了溶胶-凝胶(Sol-Gel)法分别在LaNiO3/Si和Pt/Ti/SiO2/Si基底上制备Pb(Zr0.52Ti0.48)O3 (PZT)薄膜。X射线衍射(XRD)结果表明，在相同的工艺参数下PZT/LaNiO3薄膜表现出高度的(100)取向，而PZT/Pt薄膜则呈现(100)和(111)多晶混合取向。扫描电子显微镜(SEM)结果显示，PZT/LaNiO3薄膜表面晶粒尺寸更加均匀。经过铁电和介电性能测试，PZT/LaNiO3和PZT/Pt薄膜的剩余极化强度分别为24.4 ?C?cm-2和15.3 ?C?cm-2，矫顽场分别为130.90 kV?cm-1和243.23 kV?cm-1，介电常数分别为1125和453。电场强度大于100 kV?cm-1时，漏电流分别为10-5和10-2数量级，同时铁电疲劳性能也明显改善。这些结果表明PZT/LaNiO3比PZT/Pt薄膜具有更好的电学性能，在铁电和介电器件方面具有良好的应用前景
%K 锆钛酸铅
%K 铁电性能
%K 介电性能
%K 溶胶-凝胶
%U http://www.gncl.cn/CN/abstract/abstract13116.shtml