%0 Journal Article
%T 液相法在Si基底上沉积非晶碳膜
%A 焦菲
%A 王玉梅
%A 罗清威
%A 邹祥宇
%J 功能材料
%D 2019
%R 10.3969/j.issn.1001-9731.2019.01.027
%X 液相法以成本低、制备工艺简单等特点成为制备非晶碳膜的热点。然而适合工业化生产的制备工艺参数尚不明确。以Si单晶为基底,通过液相沉积法在Si表面制备非晶碳膜,并研究了沉积电压与其摩擦学性能之间的关系。研究结果表明,在1 800 V下所制备的非晶碳膜表面光滑平整、硬度最高。此时非晶碳膜的干摩擦系数最小,耐磨性最强,具有良好的摩擦学性能
%K 非晶碳膜
%K 液相法
%K 摩擦学性能
%K 沉积电压
%U http://www.gncl.cn/CN/abstract/abstract16691.shtml