%0 Journal Article
%T 直流反应溅射WO<sub>3</sub>薄膜的结构及光催化性能研究
%A 唐艳艳
%A 朱海玲
%J 功能材料
%D 2016
%R 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.08.028
%X 采用直流反应磁控溅射法,在石英基片上沉积WO3薄膜,考察了溅射参数对WO3薄膜结构及其性能的影响,并通过后续热处理得到不同物相结构的薄膜,分析探讨薄膜光致变色与光催化性能间的内在关联。利用XRD、SEM、UV-Vis和UV-Vis-Nir分别对WO3薄膜的晶型、表面形貌、光学特征及光催化等性能进行分析与表征,实验结果表明,反应溅射氧氩比不同时,WO3薄膜的光致变色效果不同,变色效果越好的薄膜光催化活性越高;热处理导致WO3薄膜光致变色特性的消失和光催化活性的降低,未处理得到的非晶态WO3具有最好的光催化活性
%K WO<sub>3</sub>
%K 磁控溅射法
%K 光催化
%K 光致变色
%U http://www.gncl.cn/CN/abstract/abstract15175.shtml