%0 Journal Article
%T 不同过渡层对PMMA基底沉积ZAO薄膜特性的影响
%A 孔林涛
%A 武永鑫
%A 郭婷婷
%A 郭慧梅
%J 功能材料
%D 2018
%R 10.3969/j.issn.1001-9731.2018.01.037
%X 采用磁控溅射技术,分别使用SiO2、SiON、Al2O3、AlON作为过渡层,在有机玻璃(PMMA)基底上制备了ZAO薄膜。利用紫外-可见光谱仪、X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和划痕仪对不同过渡层上制备的ZAO膜层的光电特性、薄膜结构、表面形貌及附着力进行了研究。结果表明,不同的过渡层对400～800 nm波长范围内的光的透过率影响不大,在不同过渡层上制备的ZAO薄膜均展现了c轴择优取向。过渡层的添加不仅提高了ZAO薄膜的表面粗糙度和电阻,而且进一步提升了ZAO薄膜与PMMA基底的附着力
%K ZAO薄膜
%K 过渡层
%K 电阻率
%K 透过率
%K 附着力
%U http://www.gncl.cn/CN/abstract/abstract16775.shtml