%0 Journal Article
%T (AlCrMoNbZr)<sub>1<i>-x-y</i></sub>N<i><sub>y</sub></i>O<i><sub>x</sub></i>高熵合金涂层的制备及性能研究
%A 刘春海
%A 常鸿
%A 赵莎
%J 功能材料
%D 2019
%R 10.3969/j.issn.1001-9731.2019.04.030
%X 采用多靶磁控共溅射技术的单靶功率可调特点,在Zr-4合金基底上,通过调节O2流量制备出(AlCrMoNbZr)1-x-yNyOx高熵合金涂层。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、纳米压痕仪(nanoindentation)以及电化学工作站等对不同O2流量下制备的(AlCrMoNbZr)1-x-yNyOx高熵合金涂层,进行了微观结构、形貌、纳米硬度以及耐腐蚀性能进行了表征与测试。结果表明,在O2氛围作用下,涂层相结构由fcc完全转变为bcc结构;随O2流量由0 mL/min增至15 mL/min,涂层纳米硬度由22 GPa快速降低至7 GPa;O2流量为10 mL/min的(AlCrMoNbZr)1-x-yNyOx高熵合金涂层表现出优异的耐腐蚀性能,其腐蚀电流密度较O2流量为0 mL/min的(AlCrMoNbZr)N涂层降低约6倍
%K 磁控共溅射
%K 高熵合金涂层
%K 微结构
%K 纳米硬度
%K 耐腐蚀性能
%U http://www.gncl.cn/CN/abstract/abstract16529.shtml