%0 Journal Article
%T 微重力双向温差作用下Czochralski法硅熔体中的热毛细对流
%A 张全壮
%A 彭 岚
%A 魏程星云
%J 功能材料
%D 2016
%R 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.12.014
%X 采用数值模拟的方法研究了微重力条件下Czochralski法生长硅晶体过程中熔体热毛细对流的基本特征,探讨了水平和垂直温度梯度的耦合对熔体流动的影响。熔体自由表面与外界辐射换热,水平温度梯度Marangoni(Ma)数选取(0～3 000),底部热流Q选取(1.39×10-2～1.76×10-2)。结果表明,当Q和Ma数均较小时,流动为稳态,液池内产生3个流胞,熔体流动由Q主导,减小Q或增大Ma数可使流动更稳定。当Ma数增大到一定值时,流动从稳态转变为非稳态,流动的临界Mac数随Q的增大而显著减小。流动失稳后,出现了新的流动转变方式,Ma数为影响表面波动形式的关键因素, Q会改变热流体波数,是晶体附近的热流体波产生的决定因素。随着Ma数和Q的不断增强,自由表面最终形成弯曲条幅状热流体波
%K 热毛细对流
%K Cz结构
%K 双向温度梯度
%K 数值模拟
%K 表面张力
%U http://www.gncl.cn/CN/abstract/abstract15387.shtml