%0 Journal Article
%T Si含量对(AlCrTiZrHf)-Si<i><sub>x</sub></i>-N高熵薄膜微观结构和力学性能的影响
%A 何代华
%A 刘平
%A 刘新宽
%A 张柯
%A 李伟
%A 牛景锐
%A 陈小红
%A 马凤仓
%J 功能材料
%D 2019
%R 10.3969/j.issn.1001-9731.2019.06.033
%X 采用自制的复合靶材,通过直流磁控溅射技术,在单晶Si基片上沉积一系列不同Si含量的(AlCrTiZrHf)-Six-N高熵薄膜,并依次采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、高透射电子显微镜(HRTEM)和纳米压痕仪对薄膜进行表征和测试,研究Si含量对其微观结构和力学性能的影响。实验结果显示,(AlCrTiZrHf)N薄膜成柱状晶生长,并具有(111)晶面的择优取向。Si元素的掺入,使得原薄膜的(111)峰消失,(AlCrTiZrHf)-Six-N薄膜晶粒得到细化,同时生成网状非晶相,从而形成非晶包裹纳米晶的纳米复合结构。随着Si含量的增加,薄膜力学性能先上升后下降,这种趋势归因于所形成的纳米复合结构,并且当Si含量为8%(体积比)时,薄膜的硬度和弹性模量最高,分别为26.6和250.9 GPa
%K (AlCrTiZrHf)-Si<i><sub>x</sub></i>-N薄膜
%K 微观结构
%K 力学性能
%K 纳米复合结构
%U http://www.gncl.cn/CN/abstract/abstract16632.shtml