%0 Journal Article
%T 表面修饰金刚石薄膜导电性研究进展
%A 刘峰斌
%A 陈文彬
%J 功能材料
%D 2016
%R 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.12.008
%X 表面经过不同化学修饰,金刚石薄膜会表现出不同的表面导电性能。这使得其在平面微电子、微电化学器件开发方面有着广阔的应用前景。总结国内外的研究,结合近年来的研究成果,详述了不同表面修饰金刚石薄膜的实现方法,讨论了表面修饰金刚石薄膜的几何结构和电子结构,并对当前有关表面修饰金刚石薄膜导电机理的主要观点进行了分析。在此基础上,提出了今后不同表面修饰金刚石薄膜导电性的研究重点
%K 金刚石
%K 表面修饰
%K 导电性
%U http://www.gncl.cn/CN/abstract/abstract15381.shtml