%0 Journal Article
%T 磁控溅射CrAlCN涂层的结构与性能研究
%A 杜昊
%A 熊计
%A 赵海波
%A 郭盛
%A 鲜广
%J 功能材料
%D 2016
%R 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.07.016
%X 采用离子化增强磁控溅射设备在硬质合金(YG8)基体表面沉积CrAlCN涂层,通过控制碳靶电流的大小,从而改变涂层中的碳含量。沉积后的涂层进行了纳米硬度、扫描电镜、X射线衍射、电子能谱和洛氏硬度结合力检测。随着碳靶电流的升高,涂层中的碳含量呈线性上升,涂层由晶态逐渐转变为非晶态,当涂层中的碳含量达到某个临界值时,超过临界值的碳以脆性非晶态继续沉积在涂层表面,其硬度低,韧性差,导致涂层的结合力与硬度下降
%K CrAlCN涂层
%K 磁控溅射
%K 硬质合金基体
%K 碳靶
%K 结合力
%U http://www.gncl.cn/CN/abstract/abstract14986.shtml