%0 Journal Article
%T ZrN/TiSiN纳米多层膜的微观结构和力学性能研究
%A 何代华
%A 刘平
%A 刘新宽
%A 孟佳
%A 李伟
%A 郑伟
%A 陈小红
%A 马凤仓
%J 功能材料
%D 2016
%R 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.01.008
%X 采用反应磁控溅射的方法,利用Zr靶与TiSi复合靶成功制备了不同TiSiN层厚度的ZrN/TiSiN纳米多层膜。利用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、扫描电子显微镜(SEM)和纳米压痕仪研究了不同TiSiN层厚度对ZrN/TiSiN纳米多层膜的微观结构和力学性能的影响。结果表明, ZrN/TiSiN纳米多层膜主要由面心立方的ZrN相组成,随着TiSiN层厚度的增加,纳米多层膜的结晶程度先增加后降低,其硬度和弹性模量也先升高后降低。当TiSiN层厚度为0.7 nm时,纳米多层膜具有最高的硬度和弹性模量,分别为28.7和301.1 GPa,远超过ZrN单层膜。ZrN/TiSiN纳米多层膜的强化效果可由交变应力场和模量差理论进行解释
%K ZrN/TiSiN纳米多层膜
%K 微观结构
%K 力学性能
%K 共格外延生长
%U http://www.gncl.cn/CN/abstract/abstract14859.shtml