%0 Journal Article
%T 化学气相沉积制备Co-Re合金涂层的热力学分析
%A 敬瑀
%A 王恩泽
%A 龚伟
%J 功能材料
%D 2019
%R 10.3969/j.issn.1001-9731.2019.03.029
%X Co-Re合金涂层是一极具潜力的抗高温烧蚀材料。利用HSC Chemistry 6.0软件对化学气相沉积Co-Re合金涂层进行模拟计算。分析结果表明,选择H2-Re2(CO)10和H2-Co(acac)2为反应体系,在0～1 000 ℃的温度范围内ΔG均小于零;反应产物Re和Co含量随沉积温度的升高而增加,但沉积过程中会有C单质产生;制备Co-Re合金涂层的最佳反应温度区间为400～600 ℃
%K Co-Re合金涂层
%K 化学气相沉积
%K 热力学
%K 模拟计算
%U http://www.gncl.cn/CN/abstract/abstract16503.shtml