%0 Journal Article
%T ZnO薄膜中与Zn原子缺陷相关的发光特性研究<sup>*</sup>
%A 丁继军
%A 陈海霞
%J 功能材料
%D 2019
%R 10.3969/j.issn.1001-9731.2019.09.013
%X ZnO薄膜中可见光的发射与缺陷有关,为了研究ZnO薄膜中与Zn原子缺陷相关的发光特性,将不同Zn缓冲层厚度的ZnO薄膜沉积在Si衬底上,且所有样品在400 ℃下真空中退火1 h,采用X射线衍射谱(XRD)、吸收谱和光致发光谱(PL)表征了样品的晶体结构和光学特性。结果表明,随着Zn缓冲层溅射时间的增加,ZnO薄膜中的紫光峰向长波段发生了红移,且所有的发光峰强度逐渐增加;缓冲层和真空中退火都使得样品中有过量的Zn原子缺陷出现,薄膜中所有的发光峰与Zn原子缺陷相关
%K ZnO薄膜
%K Zn原子缺陷
%K 晶体结构
%K 光学特性
%K 光发射机制
%U http://www.gncl.cn/CN/abstract/abstract17772.shtml