%0 Journal Article
%T 微区电沉积技术及其研究进展
%A 刘 磊
%A 刘德荣
%A 吴 忠
%A 徐 晨
%A 胡文彬
%J 功能材料
%D 2016
%R 10.3969/j.issn.1001-9731.2016.10.007
%X 微纳尺度的三维结构构造技术存在成本高、效率低、环境依赖性强等问题,微区电沉积技术的发展在一定程度上解决了上述问题。介绍了微区电沉积的技术原理、过程控制以及研究现状,讨论了微区电沉积研究中的参数优化、过程模拟与技术发展,并对微区电沉积技术未来的研究重点与发展趋势进行了展望
%K 微区电沉积
%K 3D结构
%K 技术概况
%U http://www.gncl.cn/CN/abstract/abstract15201.shtml