%0 Journal Article %T 电感器用Ni-Cu-Zn铁氧体薄膜的设计与性能研究 %A 冯则坤 %A 陈中艳 %A 龚荣洲 %A 范跃农 %J 无机材料学报 %D 2012 %X 摘要: 采用丝网印刷技术制备Ni-Cu-Zn铁氧体电感器薄膜, 并对其性能进行了表征. XRD分析表明, 铁氧体薄膜具有相同的晶格结构. 研究结果表明, 在引入了铁氧体薄膜后, 电感器的电感量相对于空心电感器有30%左右的提高, 品质因数依频率不同有所改善, 共振频率有所降低. 经400℃后处理的薄膜电感器在低频时性能最好, 50 MHz时电感量提高了27%, 品质因数提高了39%. %K 铁氧体薄膜 %K 电感量 %K 品质因数 %K 丝网印刷 %U http://www.jim.org.cn/CN/10.3724/SP.J.1077.2012.00375