%0 Journal Article
%T 碳纳米管/金属接触改善方法的研究进展
%A 张亚非
%A 金铁凝
%A 陈长鑫
%J 无机材料学报
%D 2012
%X 摘要： 碳纳米管(CNT)由于其独特结构和优异特性已被广泛用来构筑各种纳米器件. 而CNT与电极间的接触在CNT器件中扮演着重要的作用, 是器件性能的关键影响因素. 采用何种有效的方法来改善CNT与金属电极间的接触一直是CNT器件研究中的一个重要方面. 本文综述了近年来CNT/金属接触改善方法的研究进展, 结合本课题组的研究对目前有代表性的接触改善方法进行介绍. 阐述了各种改善方法的原理和加工工艺, 讨论了采用这些方法获得的接触特性和器件性能, 并对各方法的特点进行了比较.
%K 碳纳米管(CNT)
%K 碳纳米管/金属接触
%K 接触电阻
%K 碳纳米管场效应晶体管(CNTFET)
%K 综述
%U http://www.jim.org.cn/CN/10.3724/SP.J.1077.2012.00449