%0 Journal Article
%T 强制脉冲 CVI沉积 C纤维表面涂层的工艺研究
%A 丁玉生
%A 张翔宇
%A 江东亮
%A 董绍明
%A 黄政仁
%A 周清
%J 无机材料学报
%D 2006
%X 摘要： 以MTS/H2为前驱物, 采用强制脉冲CVI(FP-CVI)方法, 进行了在C纤维表面沉积SiC涂层的研究, 并探讨了其工艺过程. 结果表明, 在1000～1100℃和(5～25)kPa, 沉积得到的\beta-SiC具有明显的(111)面取向, 涂层均匀一致, 厚度可控. 在实验过程中, 随着单次驻留时间和脉冲次数的增加, 涂层厚度也随之增加, 涂层厚度与脉冲次数成非线性关系. 当脉冲次数为300时, C纤维表面沉积SiC层后其质量增加达到36.18%.
%K C纤维
%K SiC涂层
%K FP-CVI
%U http://www.jim.org.cn/CN/10.3724/SP.J.1077.2006.01378