%0 Journal Article %T Mn-Mg共掺杂对钛酸锶钡薄膜介电性能的影响 %A 姚熹 %A 翟继卫 %A 周歧刚 %J 无机材料学报 %D 2007 %X 摘要: 用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO 2/Si衬底上制备了系列Mn-Mg共掺杂的钛酸锶钡(Ba 0.25 Sr 0.75 TiO 3)薄膜. X射线衍射以及场发射扫描电镜分析表明: 薄膜为钙钛矿结构且无杂相生成, 薄膜表面晶粒均匀、无裂纹. 测试了不同浓度掺杂薄膜的介电性能, 掺杂浓度为1mol% 时, 薄膜的介电常数、损耗、可调性和漏电流密度分别为200、0.010、38%、1×10-5 A/cm 2. 性能改善后的薄膜材料可以用来制作微波可调器件. %K BST薄膜 %K Mn-Mg共掺杂 %K 溶胶-胶方法 %K 介电性能 %U http://www.jim.org.cn/CN/10.3724/SP.J.1077.2007.00519