%0 Journal Article
%T 基于欧珀模板磁控溅射生长氧化锌薄膜及其光学特性
%A 余红华
%A 初本莉
%A 熊予莹
%A 肖 化
%A 张蜡宝
%J 无机材料学报
%D 2007
%X 摘要： 采用常温射频磁控溅射方法在聚苯乙烯欧珀模板上生长氧化锌薄膜, 通过煅烧去除模板得到了类似纳米碗结构的氧化锌. 用SEM分析了模板和氧化锌的形貌. 实验结果表明: 模板为FCC结构的聚苯乙烯密堆小球, 氧化锌呈六角排列的纳米碗结构. XRD分析结果表明, 实验中制备的ZnO为沿(001)方向择优生长的六方晶型结构薄膜. 样品FTIR、UV-Vis和PL谱等的分析表明, 欧珀模板-氧化锌复合结构光致发光强度比除去模板后的氧化锌薄膜高4～5倍. 这可能是由于样品的微结构造成的, 其机理值得进一步研究.
%K 氧化锌
%K 欧珀
%K 磁控溅射
%K 光子晶体
%U http://www.jim.org.cn/CN/10.3724/SP.J.1077.2007.01117