%0 Journal Article
%T ZnS薄膜的溅射沉积及其XPS研究
%A 周咏东
%A 方家熊
%A 李言谨
%A 龚海梅
%A 汤定元
%J 无机材料学报
%D 2000
%X 摘要： 用Ａｒ＋束溅射沉积技术在ＨｇＣｄＴｅ表面实现了ＺｎＳ的低温沉积．用Ｘ射线光电子能借（ＸＰＳ）对上述ＺｎＳ薄膜以及热蒸发ＺｎＳ薄膜中的Ｚｎ、Ｓ元素的化学环境进行了对比实验研究．实验表明：离子束溅射沉积ＺｎＳ薄膜具有很好的组份均匀性，未探测到元素Ｚｎ、Ｓ的沉积．
%K ZnS
%K 离子束溅射沉积
%K XPS
%K HgCdTe
%K 表面抗反射膜
%U http://www.jim.org.cn/CN/abstract/abstract11150.shtml