%0 Journal Article
%T 纳米粉预处理的CVD金刚石薄膜成核与生长研究
%A 邵乐喜a
%A 谢二庆a
%A 贺德衍a
%A 陈光华ab
%A 徐康c
%J 无机材料学报
%D 1998
%X 摘要： 研究了纳米金刚石粉预处理的光滑硅衬底上CVD金刚石薄膜的成核与生长．通过与研磨处理样品相比较，纳米金刚石的预处理极大地提高了成核密度（可达109／cm2）、成核速度与成膜质量，并能方便地进行成核密度的控制，是一种经济实用、简单有效的预处理方法．
%K CVD金刚石
%K 成核
%K 衬底预处理
%K 纳米金刚石粉
%U http://www.jim.org.cn/CN/abstract/abstract11407.shtml