%0 Journal Article
%T 退火温度对Bi3.15(Eu0.7Nd0.15)Ti3O12铁电薄膜力学性能的影响
%A 彭金峰
%A 朱哲
%A 郑学军
%A 龚跃球
%A 蒋大洞
%J 无机材料学报
%D 2013
%X 摘要： 利用金属有机物分解法(MOD)在Pt/Ti/SiO2/Si(111)衬底上制备了Bi3.15(Eu0.7Nd0.15)Ti3O12 (BENT)薄膜, 并经600℃、650℃、700℃、750℃退火处理。通过纳米压痕法测试了薄膜的硬度和弹性模量, 采用X射线衍射(XRD)测量了薄膜的残余应力。BENT薄膜的晶粒尺寸随着退火温度的升高而不断变大。当晶粒尺寸从37 nm增大到46 nm时, 薄膜的硬度值从8.4 GPa减少到3.1 GPa, 弹性模量从171.5 GPa减小到141.6 GPa。随着退火温度从600℃升高到750℃时, 薄膜的残余压应力值从-743 MPa减小到了-530 MPa。退火温度为600℃的BENT薄膜具有最大的硬度和弹性模量。
%K 弹性模量
%K 硬度
%K 残余应力
%K 退火温度
%U http://www.jim.org.cn/CN/10.3724/SP.J.1077.2013.12201