%0 Journal Article
%T 湿法腐蚀硅片并生长氧化锌纳米棒作为太阳能电池减反层研究
%A 屈新萍
%A 王韬
%J 无机材料学报
%D 2013
%X 摘要： 在硅基太阳能电池表面制备减反层可以有效降低硅表面的反射率, 提高吸收率, 从而提高硅基太阳能电池的光电转换效率。本研究利用四甲基氢氧化铵(Tetramethyl Ammonium Hydroxide TMAH)溶液对(100)单晶硅进行各向异性腐蚀, 在表面腐蚀出金字塔结构, 得到了最低为6%左右的反射率。然后采用水热法在该衬底生长氧化锌纳米棒, 得到了最低小于3%的反射率, 比单采用腐蚀或者ZnO纳米棒生长的硅表面的反射率更低。这种减反方法工艺简单、高效, 有望得到应用。
%K 减反层
%K 四甲基氢氧化铵
%K 湿法腐蚀
%K 各向异性
%K ZnO纳米棒
%U http://www.jim.org.cn/CN/10.3724/SP.J.1077.2013.12306