%0 Journal Article %T 316L不锈钢基体氧化铝涂层的氢渗透性能 %A 于庆河 %A 何 迪 %A 刘晓鹏 %A 张 超 %A 王树茂 %A 蒋利军 %A 邱昊辰 %A 李 帅 %J 无机材料学报 %D 2013 %X 摘要: 在316L不锈钢上采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法沉积了氧化铝涂层。使用XRD、SEM分析氧化铝涂层的物相和微观形貌, 采用气相氢渗透装置对涂层氢渗透行为进行表征。结果表明, 973 K退火处理后涂层为非晶氧化铝, 涂层均匀、完整, 厚度为190 nm。氧化铝涂层的氢渗透压力指数为0.56~0.78, 说明氢渗透过程机制为表面过程和体扩散过程共同控制。氧化铝涂层的表观氢渗透率为P = 1.99×10-6 exp(-117×103/RT) mol/(m·s·Pa1/2)。氧化铝涂层的氢渗透激活能为117 kJ/mol, 远高于316L不锈钢的66.6 kJ/mol, 涂层对氢的渗透具有明显的阻挡作用。此外, 在873~973 K氧化铝涂层对316L不锈钢的氢渗透阻挡因子(PRF)为59~119, 涂层氢渗透阻挡性能优异。 %K 氧化铝 %K MOCVD %K 氢渗透 %K 316L不锈钢 %U http://www.jim.org.cn/CN/10.3724/SP.J.1077.2013.12487