%0 Journal Article %T LiCl/SiO2-Al2O3薄膜的纳米结构和湿敏特性 %A 赵鹏 %A 翟继卫 %A 张良莹 %A 姚熹 %J 无机材料学报 %D 1999 %X 摘要: 通过溶胶-凝胶工艺制得具有良好湿敏特性的LiCl/SiO2-Al2O3薄膜材料,利用XRD和AFM对这类薄膜进行了结构表征.结果表明,具有纳米分相结构的薄膜在全湿范围内阻抗值的变化>3个数量级,阻抗的对数值与相对湿度的关系具有较好的线性度,吸湿响应<30s,脱湿响应<60s. %K 氯化锂 %K 薄膜 %K 湿敏 %U http://www.jim.org.cn/CN/abstract/abstract11586.shtml