%0 Journal Article
%T 基于(100)定向金刚石薄膜的辐射探测器研究
%A 史伟民
%A 夏义本
%A 徐 闰
%A 王林军
%A 黄 健
%A 沈沪江
%J 无机材料学报
%D 2009
%X 摘要： 采用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）方法制备了100μm米厚高质量(100)定向金刚石薄膜. 利用(100)定向金刚石薄膜成功制备了α粒子探测器, -100V偏压下电荷平均收集效率为37.7%, 最大的电荷收集效率达到60%以上. 在此基础上, 通过在α粒子探测器条状电极面蒸镀一层合适厚度的硼(10B)膜转化层, 成功研制了金刚石中子探测器. 镀硼之后探测器对中子有明显的响应, 在1V/μm电场下, 对252Cf中子的能量分辨率达到9.3%,探测效率达到1.67%. 同时还研究了电场强度和硼(10B)层厚度对器件探测效率的影响规律. 在厚度<1.5μm时, 随着厚度的增加, 探测效率上升, 当厚度>1.5μm时, 探测效率下降.
%K 金刚石薄膜
%K 辐射探测器
%K 光电性能
%U http://www.jim.org.cn/CN/10.3724/SP.J.1077.2009.01254