%0 Journal Article
%T 氮化铝薄膜织构的极图法研究
%A 许小红
%A 武海顺
%A 马文瑾
%A 段静芳
%A 李佐宜
%J 无机材料学报
%D 2003
%X 摘要： 在X射线衍射结果的基础上,采用极图法研究了AIN薄膜以(DO2)和(100)面的取向分布,发现在一定条件下制备的AIN(002)有很强的织构,并通过极图法来确定X射线衍射所无法确定的AIN(100)面择优取向薄膜中各晶粒c轴间的关系.
%K 氮化铝薄膜
%K 极图
%K 织构
%U http://www.jim.org.cn/CN/abstract/abstract10125.shtml