%0 Journal Article %T 碳纳米管异质结构的 ECR-CVD法制备 %A 于春宏 %A 巴德纯 %A 梁吉 %A 王志 %J 无机材料学报 %D 2006 %X 摘要: 使用电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积方法(ECR-CVD), 以Fe3O4纳米粒子为催化剂, 多孔硅为基底, 采用CH4/H2和CH4/B2H6/H2两种气源在连续的CVD过程中大量合成了一种新型的纳米管异质结构. 扫描电镜(SEM) 和透射电镜(TEM)观察表明: 合成的异质结构一端是类竹节状的掺硼碳纳米管, 另一端是光滑中空的纯碳纳米管. 异质结构采用底端生长模式, 先行生长的掺硼纳米管处于纳米管结构的顶端. %K ECR-CVD %K 异质结构 %K 碳纳米管 %K 硼掺杂 %U http://www.jim.org.cn/CN/10.3724/SP.J.1077.2006.01244