%0 Journal Article %T 飞秒脉冲激光沉积 Si基α轴择优取向的钛酸铋铁电薄膜及I-V特性研究 %A 杨光 %A 郑启光 %A 陆培祥 %A 龙华 %A 周幼华 %J 无机材料学报 %D 2006 %X 摘要: 采用飞秒脉冲激光沉积系统, 在Si(111)衬底上制备了a轴和c轴择优取向的Bi4Ti3O12薄膜. X 射线衍射(XRD)表明:室温(20℃)下沉积的Bi4Ti3O12/Si(111)薄膜呈c轴择优取向, 晶粒的平均直径为20nm. 在500℃沉积的Bi4Ti3O12/Si(111)薄膜呈a轴择优取向. 测量了薄膜的电滞回线和I-V特性曲线, 并用分布参数电路研究了Bi4Ti3O12薄膜的I-V特性曲线和铁电性的关联性. a轴择优取向Bi4Ti3O12薄膜的剩余极化强度Pr=15μC/cm2, 矫顽力Ec=48kV/cm. %K 飞秒 %K 脉冲激光沉积法(PLD) %K 钛酸铋 %K 铁电薄膜 %U http://www.jim.org.cn/CN/10.3724/SP.J.1077.2006.01230